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Anschlussflansch | DN 63 ISO-K |
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Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit | ≤ 25 K/min |
Dichtheit | 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1E-8 hPa – Umgebungsdruck |
Durchführungsspannung | 500 V DC |
Materialien mit Medienkontakt |
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Pins | 25 |
Strom pro Pin | 5 A |
Strom, gesamt | 25 A |
Temperaturbereich (Vakuumseite) | -100 – 300 °C |