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Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit | max. 25 K/min |
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Dichtheit | 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1 · 10-8 hPa bis Umgebungsdruck |
Material | Flansch: Edelstahl; Pins: Edelstahl (vergoldet) |
Nennweite | DN 63 ISO-K |
Pins | 25 |
Spannung | 500 V DC |
Strom | 5 A pro Pin |
Temperaturbereich (Vakuumseite) | -100 – 300 °C |