Auflösung | 1,25 µm |
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Ausheiztemperatur mit elektrischen Bauteilen | 80 °C |
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Ausheiztemperatur ohne elektrische Bauteile | 230 °C |
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Dichtheit | < 1 · 10-11 Pa m³/s |
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Druckbereich | 1 · 10-10 hPa bis Umgebungsdruck |
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Einbaulage | Beliebig |
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Genauigkeit | < 3 µm |
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Gewicht | 15,5 kg |
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Innendurchmesser | DN 63: 65 mm, DN 100: 102 mm |
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Material | Membranbalg: Edelstahl 316L, Flansch und Rohr: Edelstahl 304L, Gehäuse: Aluminium eloxiert |
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Max. zulässige Nutzlast | 75 kg |
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Motorleistung | 48 V DC (Standard), 120 V DC (max.); max. 4 A/Phase bipolar parallel |
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Motortyp | 2-Phasen Schrittmotor |
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Nennweite | DN 63 CF |
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Standzeit | Min. 10.000 Zyklen bei voller Auslenkung (Balg einfach austauschbar) |
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Wiederholgenauigkeit | 1,25 µm (bei Halbschritt) |
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X/Y-Auslenkung | ± 25 mm |