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| Abschirmung | Grounded shield |
|---|---|
| Anschlussflansch | DN 16 CF |
| Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit | ≤ 25 K/min |
| Dichtheit | 1 · 10-11 Pa m³/s |
| Druckbereich | 1E-11 hPa – Umgebungsdruck |
| Durchführungsspannung | 5 kV DC |
| Materialien mit Medienkontakt | Flansch: Edelstahl |
| Pins | 1 |
| Strom | 5 A |
| Temperaturbereich (Vakuumseite) | -100 – 300 °C |
| mm | |
|---|---|
| A | 42 |
| B | 8 |
| C | 2,4 |