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XYZ-Achsen Präzisionsmanipulator

Produktbeschreibung

  • Kompakte Konstruktion für präzise 3-Achsen Verstellung
  • Z-Achse: Kugelumlaufführung mit Kugelumlaufgewindetrieb
  • XY-Achse: Präzisions-Kreuzrollenführung
  • Spielfrei und kein Slip-Stick-Effekt
  • Führung und Antrieb verschleiß- und wartungsfrei
  • Extrem stabile Konstruktion minimiert Positionsabweichung bei Druckänderungen
  • XY-Achsen Mikrometerschrauben mit großen Bedientrommeln zum einfachen Bedienen und Ablesen
  • Feststellbremse für die Z-Achse verhindert eigenständige Bewegung
  • Anschlussflansch mit Durchgangsbohrungen, Verfahrflansch mit Gewindebohrungen

Die Filterung ergab Treffer

Technische Eigenschaften

  • Auflösung: 5 µm
  • Ausheiztemperatur: ≤ 230 °C
  • Betriebstemperatur: -15 – 80 °C
  • Dichtheit: < 1 · 10-11 Pa m³/s
  • Druckbereich: 1 · 10-10 hPa bis Umgebungsdruck
  • Einbaulage: Beliebig
  • Genauigkeit: < 5 µm (XY-Achse)
  • Innendurchmesser: 38 mm
  • Material: Membranbalg: Edelstahl 316L, Flansch und Rohr: Edelstahl 304L, Gehäuse: Edelstahl 304, XY-Einheit: Aluminium eloxiert
  • Standzeit: Min. 10.000 Zyklen bei voller Auslenkung (Balg einfach austauschbar)
  • Steigung des Kugelgewindetriebes: 2 mm/Umdrehung
  • Wiederholgenauigkeit: 5 µm
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