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Abschirmung | Grounded shield |
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Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit | ≤ 20 K/min |
Bemerkung | Maßbild 2 |
Dichtheit | 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1E-11 hPa – Umgebungsdruck |
Durchführungsspannung | 500 V DC |
Eingangsspannung(en) | 500 V DC |
Strom | 3 A |
Temperaturbereich (Vakuumseite) | -100 – 300 °C |
A | 34 mm |
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B | 10 mm |
C | 13 mm |