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Anschlussflansch | DN 16 CF |
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Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit | ≤ 20 K/min |
Dichtheit | 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1E-11 hPa – Umgebungsdruck |
Durchführungsspannung | 5 kV DC |
Materialien mit Medienkontakt |
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Temperaturbereich (Vakuumseite) | -100 – 300 °C |
A | 88 mm |
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B | 114 mm |
C | 2,4 mm |
D | 102 mm |