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Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit | max. 25 K/min |
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Dichtheit | 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1 · 10-11 hPa bis Umgebungsdruck |
Material | Edelstahl (Flansch) |
Nennweite | DN 40 CF |
Spannung | 5 kV |
Strom | 30 A |
Temperaturbereich (Vakuumseite) | -100 – 300 °C |
mm | |
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A | 76 |
B | 126 |
C | 2,4 |
D | 113 |