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Abschirmung | Grounded shield |
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Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit | max. 25 K/min |
Bemerkung | Maßbild 2 |
Dichtheit | 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1 · 10-11 hPa bis Umgebungsdruck |
Spannung | XSF-5 und XSG-5: 5 kV DC | XSG-10: 10 kV DC |
Strom | 5 A |
Temperaturbereich (Vakuumseite) | -100 – 300 °C |
mm | |
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A | 61 |
B | 9 |
C | 13 |