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Auflösung | 5 µm |
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Ausheiztemperatur | 230 °C |
Dichtheit | < 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1 · 10-10 hPa bis Umgebungsdruck |
Einbaulage | Beliebig |
Genauigkeit | < 5 µm |
Gewicht | 4 kg |
Innendurchmesser | 38 mm |
Material | Membranbalg: Edelstahl 316L, Flansch und Rohr: Edelstahl 304L, Gehäuse: Aluminium eloxiert |
Max. zulässige Nutzlast | 50 kg |
Nennweite | DN 40 CF |
Standzeit | Min. 10.000 Zyklen bei voller Auslenkung (Balg einfach austauschbar) |
Wiederholgenauigkeit | < 5 µm |
X/Y-Auslenkung | ± 12,5 mm |
mm | |
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A | 154 |
B | 270 |
C | 270 |
D | 130 |