Auflösung |
1 µm
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Ausheiztemperatur mit elektrischen Bauteilen |
80 °C
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Ausheiztemperatur ohne elektrische Bauteile |
230 °C
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Betriebstemperatur |
-10 – 50 °C
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Dichtheit |
< 1 · 10-11 Pa m³/s
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Druckbereich |
1 · 10-10 hPa bis Umgebungsdruck
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Einbaulage |
Beliebig
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Genauigkeit |
< 3 µm
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Gewicht |
5,2 kg
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Innendurchmesser |
38 mm
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Material |
Membranbalg: Edelstahl 316L, Flansch und Rohr: Edelstahl 304L, Gehäuse: Aluminium eloxiert
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Max. zulässige Nutzlast |
50 kg
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Motorleistung |
4,1 V DC; max. 1,2 A/Phase bipolar
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Motortyp |
2-Phasen Schrittmotor
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Nennweite |
DN 40 CF
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Standzeit |
Min. 10.000 Zyklen bei voller Auslenkung (Balg einfach austauschbar)
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Wiederholgenauigkeit |
3 µm (bei Vollschritt)
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X/Y-Auslenkung |
± 12,5 mm
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