| Anschlussflansch |
DN 40 CF
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| Auflösung |
0,1 µm
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| Ausheiztemperatur mit elektrischen Bauteilen |
80 °C
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| Ausheiztemperatur ohne elektrische Bauteile |
230 °C
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| Betriebstemperatur |
-10 – 50 °C
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| Dichtheit |
< 1 · 10-11 Pa m³/s
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| Druckbereich |
1E-10 hPa – Umgebungsdruck
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| Einbaulage |
Beliebig
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| Genauigkeit |
< 3 µm
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| Gewicht |
5,2 kg
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| Innendurchmesser |
38 mm
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| Material |
Membranbalg: Edelstahl 316L, Flansch und Rohr: Edelstahl 304L, Gehäuse: Aluminium eloxiert
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| Max. zulässige Nutzlast |
50 kg
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| Motorleistung |
4,1 V DC; max. 1,2 A/Phase bipolar
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| Motortyp |
2-ph Schrittmotor
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| Standzeit |
10000 Zyklen
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| Wiederholgenauigkeit |
3 µm (bei Vollschritt)
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| X/Y-Auslenkung |
± 12,5 mm
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