Auflösung | 1 µm |
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Ausheiztemperatur mit elektrischen Bauteilen | 80 °C |
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Ausheiztemperatur ohne elektrische Bauteile | 230 °C |
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Dichtheit | < 1 · 10-11 Pa m³/s |
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Druckbereich | 1 · 10-10 hPa bis Umgebungsdruck |
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Einbaulage | Beliebig |
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Genauigkeit | < 3 µm |
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Gewicht | 5,2 kg |
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Innendurchmesser | 38 mm |
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Material | Membranbalg: Edelstahl 316L, Flansch und Rohr: Edelstahl 304L, Gehäuse: Aluminium eloxiert |
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Max. zulässige Nutzlast | 50 kg |
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Motorleistung | 4,1 V DC; max. 1,2 A/Phase bipolar |
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Motortyp | 2-Phasen Schrittmotor |
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Nennweite | DN 40 CF |
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Standzeit | Min. 10.000 Zyklen bei voller Auslenkung (Balg einfach austauschbar) |
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Wiederholgenauigkeit | 3 µm (bei Vollschritt) |
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X/Y-Auslenkung | ± 12,5 mm |