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Abschirmung | Floating shield |
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Anschlussflansch | DN 16 CF |
Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit | ≤ 25 K/min |
Dichtheit | 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1E-11 hPa – Umgebungsdruck |
Durchführungsspannung | 5 kV DC |
Materialien mit Medienkontakt |
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Pins | 1 |
Strom | 3 A |
Temperaturbereich (Vakuumseite) | -100 – 300 °C |
mm | |
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A | 51 |
B | 32 |
C | 2,4 |