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Anschlussflansch | DN 16 ISO-KF |
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Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit | ≤ 20 K/min |
Dichtheit | 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1E-8 hPa – Umgebungsdruck |
Leiterpaare | 5 |
Materialien mit Medienkontakt |
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Temperaturbereich (Vakuumseite) | -100 – 300 °C |
mm | |
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A | 71 |
B | 69 |
C | 1,4 |