Auflösung |
2 µm
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Ausheiztemperatur |
≤ 230 °C
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Betriebstemperatur |
-15 – 80 °C
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Dichtheit |
< 1 · 10-11 Pa m³/s
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Druckbereich |
1 · 10-10 hPa bis Umgebungsdruck
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Einbaulage |
Beliebig
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Genauigkeit |
< 3 µm
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Gewicht |
11 kg
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Innendurchmesser |
DN 63: 65 mm, DN 100: 102 mm
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Material |
Membranbalg: Edelstahl 316L, Flansch und Rohr: Edelstahl 304L, Gehäuse: Aluminium eloxiert
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Max. zulässige Nutzlast |
75 kg
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Nennweite |
DN 63 CF
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Standzeit |
Min. 10.000 Zyklen bei voller Auslenkung (Balg einfach austauschbar)
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Wiederholgenauigkeit |
< 3 µm
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X/Y-Auslenkung |
± 25 mm
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