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Auflösung | 5 µm |
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Ausheiztemperatur | ≤ 230 °C |
Betriebstemperatur | -15 – 80 °C |
Dichtheit | < 1 · 10-11 Pa m³/s |
Druckbereich | 1 · 10-10 hPa bis Umgebungsdruck |
Einbaulage | Beliebig |
Genauigkeit | < 5 µm (XY-Achse) |
Hub | 150 mm |
Innendurchmesser | 38 mm |
Material | Membranbalg: Edelstahl 316L, Flansch und Rohr: Edelstahl 304L, Gehäuse: Edelstahl 304, XY-Einheit: Aluminium eloxiert |
Nennweite | DN 40 CF |
Standzeit | Min. 10.000 Zyklen bei voller Auslenkung (Balg einfach austauschbar) |
Steigung des Kugelgewindetriebes | 2 mm/Umdrehung |
Wiederholgenauigkeit | 5 µm |
X/Y-Auslenkung | ± 12,5 mm |
A | 210 – 360 mm |
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B | 450 mm |
C | 82 mm |
D | 321 mm |
E | 63,5 mm |
F | 232 mm |